追溯變壓吸附制氧技術(shù)起源，其實(shí)中國算較早進(jìn)行研發(fā)的了，20世紀70年代是中國PSA分離空氣制氧技術(shù)發(fā)展的鼎盛時(shí)期。全國有十幾個(gè)單位相繼開(kāi)展了變壓吸附制氧技術(shù)的實(shí)驗研究，建立了數套工業(yè)試驗設備。

這個(gè)時(shí)期開(kāi)發(fā)的變壓吸附制氧設備大多采用高于大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個(gè)到四個(gè)；空氣進(jìn)入吸附塔前，經(jīng)過(guò)脫水預處理；設備可靠性差，不能連續穩定運行，導致大部分設備報廢；且技術(shù)、經(jīng)濟指標落后。

20世紀80年代，中國變壓吸附制氧技術(shù)的開(kāi)發(fā)再次進(jìn)入低谷。

1995年，昆山錦滬機械有限公司在河南洛陽(yáng)鋼鐵廠(chǎng)建成VPSAO1000Nm3/h制氧機，標志著(zhù)變壓吸附在中國正式進(jìn)入工業(yè)領(lǐng)域，也標志著(zhù)變壓吸附在中國進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)期。

20世紀90年代是中國變壓吸附制氧技術(shù)突飛猛進(jìn)向前發(fā)展的時(shí)期，變壓吸附制氧技術(shù)逐漸成熟，甚至有很多綜合技術(shù)經(jīng)濟指標已經(jīng)接近國外先進(jìn)水平。中國變壓吸附制氧技術(shù)已經(jīng)走出實(shí)驗室步入實(shí)用化階段，并通過(guò)不斷地研究與開(kāi)發(fā)，呈現出日新月異的發(fā)展態(tài)勢。不過(guò)從整體上看，中國制氧機在很多方面與國際先進(jìn)水平仍有一定的差距。如在新型高性能的吸附劑的研究、吸附流程的改進(jìn)、理論分析研究和數學(xué)模型的建立，質(zhì)量監控與自動(dòng)化控制等許多方面。